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超純水是在純水的基礎上經過光氧化技術、精處理和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的。這樣的水是一般工藝很難達到的程度。
超純水系統主要包括預處理系統、RO系統、EDI系統、拋光處理系統以及遠程控制系統、監控系統、水量計量系統和其他輔助系統。采用中央監控系統控制純水系統的運行操作,控制模式采用PLC+上位機,采用CPU和服務器無縫冗余。不使用國家明令禁止的產品,對化學品的使用應有泄露應急措施。各級設備應具有余量、備用,系統自動運行,同時也可以切換為手動。采用節約用能設計。超純水泵、EDI增壓泵、RO高壓泵、UF反洗泵、RO供給水泵采用變頻器控制。原水直接來源于業主自行建設的水箱,不再單獨建設原水箱。
包括原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統。作為反滲透的前處理,主要目的是去除原水中的懸浮物、膠體、色度、濁度、有機物、硬度等妨礙后續反滲透運行的雜質。
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